




xds干式涡旋泵
型号:xds35i/xds35ie/xds46i等
特点:
随着干式清洁真空的应用需求不断扩大,已成为涡旋干式泵行业标准
适用于各种应用和流程的---且清洁的真空泵解决方案
具有---的轴承罩和润滑系统,爱德华gv250真空泵维修,降低了维护成本
半导体干式真空泵
型号:ih80、ih160、ih1000、ih1800等
特点:
专为半导体行业设计,爱德华gv250真空泵维修工厂,满足---、高清洁度的需求
能抽气能力,---生产过程中的稳定性和连续性
广泛适用于科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备等

爱德华真空泵作为欧洲品牌,以其的性能和---的赢得了客户的---。
节能:采用的技术设计,---地提高能源利用率,并降低运行成本。
---稳定:采用材料和精密制造工艺,---设备长期稳定运行,具有---的耐久性。
安全易用:配备智能控制系统,可以实现自动化操作,爱德华gv250真空泵维修厂,并提供多重安全防护功能。
以e2m275型号为例,其抽气速度为255m3/h,排量292m3/h,---压力1.0 *10^-3mbar,功率7.5kw(三相),重量225kg,油量19-28l,爱德华gv250真空泵维修价格,噪音值75db。

薄膜沉积:在半导体制造过程中,薄膜沉积是一个关键步骤。爱德华真空泵能够提供高纯度和无尘的环境,---薄膜沉积的和性能。例如,物理气相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)等工艺都需要用到真空泵来创造理想的沉积环境。
离子注入:离子注入是半导体制造中用于改变材料电学性质的重要技术。真空泵用于维持离子注入过程中的真空环境,---离子注入的准确性和均匀性。
其他半导体工艺:真空泵还广泛应用于半导体制造的多个环节,如光刻、蚀刻、封装等,为这些工艺提供---的真空环境。

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